近年來，利用光(guang)與微小顆粒(li)作用時發生散射(she)現象研制(zhi)出各種(zhong)能定(ding)量測定(ding)量煙塵和(he)可吸(xi)入顆粒(li)的(de)分析儀(yi)器。如圖1所示(shi)為用于Dustmate可吸入煙(yan)塵分析(xi)儀中(zhong)的光散(san)射檢測器^[8]。它采用(yong)由激(ji)光二極(ji)管發(fa)出的激(ji)光光源，經聚焦的光束沿(yan)x方向穿過一個(ge)三維檢測(ce)腔(qiang)。在該三維檢測(ce)腔(qiang)交匯處，被測(ce)試樣由(you)z方向(xiang)導(dao)入，并與(yu)激光光束(shu)發(fa)生(sheng)作用，使部分(fen)光產生(sheng)散(san)射。未散(san)射的(de)光沿原(yuan)方向(xiang)投射在黑體(ti)上被吸收，而散(san)射光的(de)方向(xiang)被改變，其中(zhong)一部分(fen)經由(you)y方向(xiang)射到一個光(guang)度計，由(you)光(guang)度計測量(liang)其光(guang)通量(liang)，其余散射光(guang)被黑體吸收。途經三維檢測腔交匯處(chu)的試樣由(you)真空泵(beng)抽出。
  用光(guang)散(san)射法(fa)檢測(ce)(ce)可吸(xi)入煙(yan)塵的是一(yi)個(ge)很復雜的過程。有二(er)個(ge)因素制約著它的測(ce)(ce)量(liang)精度。一(yi)是采(cai)樣過程。空氣中塵埃顆(ke)粒大小(xiao)可從100微米，研究表(biao)明(ming)，經采樣(yang)器和(he)氣(qi)(qi)(qi)路實際能(neng)進(jin)入(ru)檢測腔的塵(chen)埃(ai)是一個與顆粒形狀，大小，進(jin)氣(qi)(qi)(qi)口處空氣(qi)(qi)(qi)流(liu)速(su)與采樣(yang)氣(qi)(qi)(qi)流(liu)流(liu)速(su)的比率，氣(qi)(qi)(qi)樣(yang)渦(wo)流(liu)和(he)進(jin)氣(qi)(qi)(qi)口導向有(you)關的復雜函數。表(biao)1顯示(shi)了(le)顆粒大小及其(qi)能到達(da)檢測腔的關(guan)系(xi)。

從上表中可知，大于50微(wei)米(mi)的(de)顆(ke)粒幾乎是不可能到達檢測處，除非使用(yong)特(te)殊的(de)可控制和選擇(ze)顆(ke)粒大(da)小(xiao)的(de)進氣口(kou)。第二(er)個因素(su)是被顆(ke)粒散射(she)的(de)光密度(du)與(yu)顆(ke)粒的(de)形狀，大(da)小(xiao)和折射(she)率(lv)有關。直徑在(zai)0.1 – 10微米之間(jian)的顆(ke)粒(li)可獲得(de)比其他顆(ke)粒(li)大(da)得(de)多的散射(she)效果^[8] ，如(ru)圖2所示。因此(ci)，目(mu)前使(shi)用光散射(she)原理(li)的檢(jian)測器，比較(jiao)適用于對0.1 – 10微米之間的可吸入顆粒(li)的測(ce)量(liang)。

圖2：散射光光密(mi)度(du)與(yu)顆粒大小的關系